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流化床化学气相沉积法制备近化学计量比的TiN粉体
桑元1; 向茂乔1; 宋淼1; 朱庆山1
2020
Source Publication化工学报
ISSN0438-1157
Volume71.0Issue:006Pages:2743
Abstract传统气-固反应工艺制备TiN粉体存在难以逾越的内扩散控制过程,导致制备高纯、正化学计量比的TiN粉体至今存在巨大困难。提出了流态化化学气相沉积工艺(FBCVD)制备高质量TiN粉体,即基于TiCl4-N2-H2体系,在往复运动的TiN种子粉体上沉积新生高质量TiN粉体的新方法。实验发现,当TiN种子粉体粒径大于52.95μm时,即使在1000℃沉积2 h也不会失流,同时在TiN种子粉体上获得了亚微米级的结节状新生TiN颗粒。通过氧氮分析仪和XRD分析发现,新方法显著提升了粉体的氮含量,获得了近化学计量比的TiN0.96,且氧含量下降了约40%。此外,流化床中气相沉积TiN的生长模式为岛状生长模式,为工业中制备高质量TiN粉体提供了一种新的方法。
Keyword流化床化学气相沉积 氮化钛 粉体 化学计量比
Language英语
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ipe.ac.cn/handle/122111/47483
Collection中国科学院过程工程研究所
Affiliation1.中国科学院过程工程研究所
2.中国科学院大学
First Author Affilication中国科学院过程工程研究所
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GB/T 7714
桑元,向茂乔,宋淼,等. 流化床化学气相沉积法制备近化学计量比的TiN粉体[J]. 化工学报,2020,71.0(006):2743.
APA 桑元,向茂乔,宋淼,&朱庆山.(2020).流化床化学气相沉积法制备近化学计量比的TiN粉体.化工学报,71.0(006),2743.
MLA 桑元,et al."流化床化学气相沉积法制备近化学计量比的TiN粉体".化工学报 71.0.006(2020):2743.
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