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电感耦合等离子体辐射源温度径向分布的光学测量
刘克玲; 施承蕾; 张力
1982
Source Publication分析化学
Issue01Pages:16-21
Abstract<正> (一)引言电感耦合等离子体辐射源是七十年代发展起来的一种新型辐射源,因为它具有温度高、稳定、污染小等优点,在冶金工业,半导体工业以及分析化学领域都得到了广泛的应用。掌握等离子体的温度分布,或进而掌握粒子分布状态,可以为研究等离子辐射源中各种反应过程的机理提供重要参数。我们用3.5仟瓦的氩等离子体作光源,初步摸索了光谱法测量电感耦合等离子体温度径向分布的方法。1961年Reed首次用单谱线强度法及数值法的Abel变换,测量了氩ICP辐射源的温度径向分布。由于氩的跃迁几率A,统计权重g,激发电位E等物理参数不够准确
Keyword径向分布 光学测量 激发电位 氩等离子体 光谱法 物理参数 谱线强度 钨带灯 电感祸合 粒子分布
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ipe.ac.cn/handle/122111/9066
Collection研究所(批量导入)
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GB/T 7714
刘克玲,施承蕾,张力. 电感耦合等离子体辐射源温度径向分布的光学测量[J]. 分析化学,1982(01):16-21.
APA 刘克玲,施承蕾,&张力.(1982).电感耦合等离子体辐射源温度径向分布的光学测量.分析化学(01),16-21.
MLA 刘克玲,et al."电感耦合等离子体辐射源温度径向分布的光学测量".分析化学 .01(1982):16-21.
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电感耦合等离子体辐射源温度径向分布的光学(376KB) 限制开放CC BY-NC-NDApplication Full Text
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