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流化床CVD淀积过程中铝膜微结构及表面形貌的研究
刘书琴; 施大新; 崔怡红; 曹竹友
2000
Source Publication高等学校化学学报
Issue03Pages:339-343
Abstract考察了在常压流化床 CVD反应器中利用三异丁基铝的热分解反应在高折射率玻璃微珠表面淀积铝膜时 ,淀积温度和时间对铝膜微结构和表面形貌的影响 .SEM谱的表面形貌分析表明 ,提高淀积温度时 ,铝膜经过三维岛状→孔洞结构→连续致密膜的变化 ;延长淀积时间 ,铝膜的晶粒会变粗变大 .AES谱的表面化学组成分析表明 ,在较高的淀积温度下铝膜中碳的残留并不明显 ,但发生了玻璃微珠基材中 Ti,Ba等元素向铝膜中的扩散 . Ti的扩散有利于形成连续致密的铝膜
Keyword流化床cvd反应器 三异丁基铝 铝淀积 微结构和表面形貌 高折射率玻璃微珠 热活化
Indexed ByCSCD
CSCD IDCSCD:597971
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ipe.ac.cn/handle/122111/9073
Collection研究所(批量导入)
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GB/T 7714
刘书琴,施大新,崔怡红,等. 流化床CVD淀积过程中铝膜微结构及表面形貌的研究[J]. 高等学校化学学报,2000(03):339-343.
APA 刘书琴,施大新,崔怡红,&曹竹友.(2000).流化床CVD淀积过程中铝膜微结构及表面形貌的研究.高等学校化学学报(03),339-343.
MLA 刘书琴,et al."流化床CVD淀积过程中铝膜微结构及表面形貌的研究".高等学校化学学报 .03(2000):339-343.
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流化床CVD淀积过程中铝膜微结构及表面形(180KB)期刊论文出版稿限制开放CC BY-NC-SAApplication Full Text
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