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高频热等离子体制备特种粉体研究进展 期刊论文
过程工程学报, 2018, 2018, 卷号: 18, 期号: 06, 页码: 1139-1145
Authors:  袁方利;  金化成;  侯果林;  白柳杨;  丁飞;  李保强;  陈运法
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高频热等离子体  纳米粉体  球形粉体  氢活性粒子  物理气相沉积  化学气相沉积  
四氯化硅微波等离子氢化的新工艺 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2012
Authors:  卢振西
Adobe PDF(2088Kb)  |  Favorite  |  View/Download:299/2  |  Submit date:2013/09/25
微波  等离子  氢化  四氯化硅  温度